@misc{Waczyński_Krzysztof_Cienkie, author={Waczyński, Krzysztof}, howpublished={online}, publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej}, language={pol}, title={Cienkie warstwy dwutlenku cyny w aspekcie zastosowań w mikroelektronice}, title={Thin dioxide thin films for microelectronics application}, type={praca habilitacyjna}, keywords={mikroelektronika, dwutlenek cyny, tlenki przewodzące, tlenki półprzewodzące}, }