@misc{Wróbel_Edyta_Analiza, author={Wróbel, Edyta}, howpublished={online}, language={pol}, title={Analiza procesów dyfuzji planarnej w półprzewodnikach z wybranych źródeł domieszek}, type={rozprawa doktorska}, keywords={półprzewodniki, domieszkowanie półprzewodników, szkliwa krzemowo-domieszkowe, dyfuzja planarna, dyfuzyjne domieszkowanie krzemu, drugie prawo Ficka}, }