@misc{Kończak_Sławomir_Sposób, author={Kończak, Sławomir and Waczyński, Krzysztof and Dobiech, Teresa and Smyrek, Joachim}, howpublished={online}, publisher={Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej}, language={pol}, title={Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła antymonu do dyfuzji planarnej w krzemie}, type={opis patentowy}, keywords={antymon, dyfuzja planarna, krzem}, }