@misc{Kończak_Sławomir_Sposób, author={Kończak, Sławomir and Dobiech, Teresa and Waczyński, Krzysztof and Gmyrek, Joachim and Krompiec, Stanisław}, howpublished={online}, publisher={Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej}, language={pol}, title={Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie}, type={opis patentowy}, keywords={arsen, fosfor, dyfuzja planarna, krzem}, }