@misc{Uljanow_Jerzy_Badania, author={Uljanow, Jerzy}, howpublished={online}, language={pol}, title={Badania nad optymalizacją technologii wytwarzania cienkich warstw dwutlenku cyny SnO2 metodą RGTO w aspekcie zastosowań sensorowych}, type={rozprawa doktorska}, keywords={czujniki gazowe, materiały półprzewodnikowe, osadzanie próżniowe, przewodnictwo elektryczne, utlenianie termiczne, warstwy cienkie}, }