@misc{_Technologie,
 howpublished={online},
 publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej},
 language={pol},
 title={Technologie mikroelektroniczne : laboratorium technik warstwowych},
 type={książka},
 keywords={mikroelektronika, techniki warstwowe, ćwiczenia laboratoryjne, technologia cienkowarstwowa, technologia grubowarstwowa, technologie warstwowe, układy elektroniczne, pomiary fizyczne, układy scalone, układy hybrydowe},
}