@misc{Szuber_Jacek_Fizykochemia, author={Szuber, Jacek}, howpublished={online}, publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej}, language={pol}, title={Fizykochemia powierzchni Si w technologii pólprzewodnikowej}, type={artykuł}, keywords={Politechnika Śląska, fizyka, matematyka}, }