@misc{Dobiech_Teresa_Analiza, author={Dobiech, Teresa}, howpublished={online}, publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej}, language={pol}, title={Analiza współczesnych technologii otrzymywania źródła arsenu dla procesu dyfuzji planarnej do krzemu}, type={artykuł}, keywords={Politechnika Śląska, fizyka, matematyka}, }