@misc{_Technologie,
 howpublished={online},
 publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej},
 language={pol},
 title={Technologie mikroelektroniczne : laboratorium technologii półprzewodników},
 type={książka},
 keywords={materiały półprzewodnikowe, mikroelektronika, modelowanie procesów technologicznych, podłoża krzemowe, półprzewodniki, technologia krzemowa, technologia półprzewodnikowa, utlenianie anodowe powierzchni krzemu, utlenianie termiczne powierzchni krzemu, ćwiczenia laboratoryjne},
}