@misc{Waczyński_Krzysztof_Technologie,
 author={Waczyński, Krzysztof and Wróbel, Edyta},
 howpublished={online},
 publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej},
 language={pol},
 title={Technologie mikroelektroniczne. Cz. 1, Metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych},
 type={książka},
 keywords={epitaksja, materiały półprzewodnikowe, przyrządy półprzewodnikowe, układy scalone, struktury półprzewodnikowe, technologia półprzewodnikowa, warstwy dielektryczne, mikroelektronika, półprzewodniki, technologie mikroelektroniczne},
}