@misc{Waczyński_Krzysztof_Technologie,
 author={Waczyński, Krzysztof and Wróbel, Edyta},
 howpublished={online},
 publisher={Wydawnictwo Politechniki Śląskiej},
 language={pol},
 title={Technologie mikroelektroniczne : metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych},
 type={książka},
 keywords={technologie mikroelektroniczne, układy scalone, warstwy dielektryczne, struktury półprzewodnikowe, mikroelektronika, przyrządy półprzewodnikowe, epitaksja, technologia półprzewodnikowa, półprzewodniki, materiały półprzewodnikowe},
}