@misc{Szuber_Jacek_Badania, author={Szuber, Jacek}, howpublished={online}, language={pol}, title={Badania niskotemperaturowej pasywacji próżniowej powierzchni (111) Si metodą elektronowego rezonansu paramagnetycznego (EPR)}, type={rozprawa doktorska}, keywords={elektronowy rezonans paramagnetyczny, krzem, pasywacja niskotemperaturowa, pasywacja próżniowa, powierzchnia krzemu półprzewodnikowego, powierzchnie graniczne, relaksacja paramagnetyczna, własności paramagnetyczne powierzchni}, }