Title:
Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie
Creator:
Kończak, Sławomir ; Dobiech, Teresa ; Waczyński, Krzysztof ; Gmyrek, Joachim ; Krompiec, Stanisław
Keywords:
arsen ; fosfor ; dyfuzja planarna ; krzem
Description:
numer zgłoszenia: 264595 ; data zgłoszenia: 1987-03-11 ; numer publikacji: PL 151167 ; data publikacji: 1990-12-31
Publisher:
Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
Resource Type:
Format:
Resource Identifier:
Source:
Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej - Serwer Publikacji
Language:
Relation:
Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki. Politechnika Śląska