Title:

Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie

Creator:

Kończak, Sławomir ; Dobiech, Teresa ; Waczyński, Krzysztof ; Gmyrek, Joachim ; Krompiec, Stanisław

Keywords:

arsen ; fosfor ; dyfuzja planarna ; krzem

Description:

numer zgłoszenia: 264595 ; data zgłoszenia: 1987-03-11 ; numer publikacji: PL 151167 ; data publikacji: 1990-12-31

Publisher:

Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej

Resource Type:

opis patentowy

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

Baza „Dorobek”

Source:

Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej - Serwer Publikacji

Language:

pol

Relation:

Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki. Politechnika Śląska

Rights Management:

własność autora

Access:

zasób dostępny bez ograniczeń

Source of funding:

UDA-RPSL.01.03.00-00-042/12-00