Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie
Autor:Kończak, Sławomir ; Dobiech, Teresa ; Waczyński, Krzysztof ; Gmyrek, Joachim ; Krompiec, Stanisław
Słowa kluczowe:arsen ; fosfor ; dyfuzja planarna ; krzem
Opis:numer zgłoszenia: 264595 ; data zgłoszenia: 1987-03-11 ; numer publikacji: PL 151167 ; data publikacji: 1990-12-31
Wydawca:Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
Typ zasobu: Format: Identyfikator zasobu: Źródło:Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej - Serwer Publikacji
Język: Powiązania:Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki. Politechnika Śląska
Prawa: Dostęp: Źródło finansowania: