Title:

Studying of spin-coated oxad-Si properties

Creator:

Weszka, Jan ; Dobrzański, Leszek Adam ; Jarka, Paweł ; Jurusik, Jan ; Hajduk, Barbara ; Bruma, Maria ; Konieczny, Jarosław ; Mańkowski, D.

Keywords:

warstwy cienkie ; morfologia ; mikroskopia sił atomowych (AFM) ; metoda spin-coating ; absorbancja

Resource Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Resource Identifier:

Baza Wiedzy PŚ

Source:

Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering, 2009, Vol. 37, Iss. 2, p. 505-511

Language:

eng

Relation:

Wydział Mechaniczny Technologiczny. Politechnika Śląska

Access:

zasób dostępny bez ograniczeń

Source of funding:

UDA-RPSL.01.03.00-00-042/12-00