Technologie mikroelektroniczne. Cz. 1, Metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych
Tytuł publikacji grupowej:Technologie mikroelektroniczne
Autor:Waczyński, Krzysztof ; Wróbel, Edyta
Słowa kluczowe:epitaksja ; materiały półprzewodnikowe ; przyrządy półprzewodnikowe ; układy scalone ; struktury półprzewodnikowe ; technologia półprzewodnikowa ; warstwy dielektryczne ; mikroelektronika ; półprzewodniki ; technologie mikroelektroniczne
Miejsce wydania: Wydawca:Wydawnictwo Politechniki Śląskiej
Data wydania: Współtwórca: Uwagi:skrypt przeznaczony dla studentów Wydziału Automatyki, Elektroniki i Informatyki
Typ zasobu: Seria: Identyfikator zasobu:Katalog Biblioteki ; Baza Wiedzy PŚ
Źródło: Język: Powiązania: Prawa:Wydawnictwo Politechniki Śląskiej
Dostęp:zasób dostępny wyłącznie z komputerów Biblioteki Politechniki Śląskiej
Uwagi:brak możliwości drukowania i edycji dokumentu
Źródło finansowania: