Title:

Technologie mikroelektroniczne : metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych

Group publication title:

Technologie mikroelektroniczne

Creator:

Waczyński, Krzysztof ; Wróbel, Edyta

Keywords:

technologie mikroelektroniczne ; układy scalone ; warstwy dielektryczne ; struktury półprzewodnikowe ; mikroelektronika ; przyrządy półprzewodnikowe ; epitaksja ; technologia półprzewodnikowa ; półprzewodniki ; materiały półprzewodnikowe

place:

Gliwice

Publisher:

Wydawnictwo Politechniki Śląskiej

Date:

2006

Contributor:

Botor, Aleksandra. Oprac. red.

Comment:

skrypt przeznaczony dla studentów Wydziału Automatyki, Elektroniki i Informatyki

Resource Type:

książka

Series:

Skrypty Uczelniane ; 2395

Resource Identifier:

Katalog Biblioteki ; Baza Wiedzy PŚ

Source:

ISBN 978-83-7335-362-6

Language:

pol

Relation:

Politechnika Śląska

Rights Management:

Wydawnictwo Politechniki Śląskiej

Access:

zasób dostępny wyłącznie z komputerów Biblioteki Politechniki Śląskiej

Notes:

brak możliwości drukowania i edycji dokumentu

Source of funding:

UDA-RPSL.01.03.00-00-042/12-00