czujniki gazowe ; materiały półprzewodnikowe ; osadzanie próżniowe ; przewodnictwo elektryczne ; utlenianie termiczne ; warstwy cienkie
place: Date: Contributor:Szuber, Jacek. Promotor ; Kończak, Sławomir. Recenzent ; Kalita, Włodzimierz. Recenzent
Comment: Resource Type: Format: Resource Identifier:Baza „Dorobek” ; Katalog Biblioteki
Language: Relation:Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki. Politechnika Śląska
Rights Management: Access:zasób dostępny wyłącznie z komputerów Biblioteki Politechniki Śląskiej
Notes:brak możliwości drukowania i edycji dokumentu
Source of funding: Project Identifier:Działalność Upowszechniająca Naukę - umowa nr 549/P-DUN/2018